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AMSEMI ADW-08 plus半自動ウェハ減薄後膜剥離機
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    半自動ウェハ減薄後膜剥離機ADW-08 plus特長


    独自の特許設計ロボット製の膜を引き裂く技術、消耗材無しで膜を剥がす

    全自動で膜を引き、廃棄膜を収集する

    ウエハを手動で配置して取り出したり、膜付きウエハを載せたりします

    8“セラミックウエハ台盤は8”ウエハにマッチすることができる/環積載

    12“セラミックウエハ台盤は12”ウエハにマッチすることができる/環積載

    PLCコントロール元に、5.7インチのタッチスクリーン付き

    イオンファンを取り除く、ESDを保護する

    UV膜&非UV膜能力

    ライトカーテン保護機能と非常停止ボタンの設定

    操作状態監視には三色灯台とブザーが使用される



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