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AMSEMI AFM-200全自動ウエハマウンタ
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    AFM-200全自動ウエハマウンタ特長


    4 " - 8 "ウエハアプリケーション

    完全自動真空取付

    より薄いウェーハ接触または非接触取付

    フリップアームウエハ搬送ロボット

    ウエハ操作用ベルヌーイアーム

    ウエハ位置と反りインテリジェントマッピング

    カセットまたは箱からウェーハをロードする

    ウエハアライメント用非接触ビームセンサ

    Windows OSを用いたPCベース制御

    非UVとUVテープ互換性

    簡単なコミュニケーション



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