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AMSEMI AMW-12半自動ウエハ切断膜貼付機
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    AMW-12半自動ウエハ切断膜貼付機特長


    デスクトップ型

    8”&12”ウエハに適用

    操作が簡単である



    AMW-12半自動ウエハ切断膜貼付機仕様: 


    ウエハ直径

    8”& 12”

    ウエハ厚さ

    200~750ミクロン

    ウエハの種類

    シリコン、ガリウムヒ素またはその他材料;片辺、V型欠損

    膜の種類

    青膜またはUV膜

    幅:300~400 mm

    長さ:100メートル

    厚さ0.05~0.2 mm

    ウエハ積載環

    8”DISCO または K&S 標準

    12”DISCO または K&S 標準

    お客様が基準を定める

    膜貼付原理

    静電気防止ローラー膜

    ウエハ台盤

    交換式帯電防止コーティング接触式台盤(8 "と 12" の間で交換可能)

    またはセラミック台盤; または多孔金属台盤; またはセラミック台盤

    着脱方式

    ウエハ/積載環手動配置と取り出し

    静電気防止制御

    静電気防止コーティング型ウエハ台盤・

    静電気防止膜ローラー・静電気防止イオン発生機装置

    切断システム

    手動軌跡式の輪切りと直切り

    ウエハ位置

    共通標線/スプリングピンの位置

    制御ユニット

    PLC制御に基づいて5.7インチのタッチスクリーンを搭載している

    セキュリティ

    緊急停止ボタンの設定

    電源電圧

    単相交流220V,10A

    圧縮空気

    乾燥空気を5 kg清潔、流量1分当たり2立方フィート

    機械ハウジング

    白いブローメタルケース

    体積

    670 mm(幅)×1110mm(深さ)×880 mm

    重量

    100 kg


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