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AMSEMI AMW200Pro全自動ウエハマウンター
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    AMW200Pro全自動ウエハマウンター特長


    ローラ無しのユニークな特許真空実装技術(オプションとしてのローラマウント)

    ウエハ搬送ロボット

    より薄いウエハハンドリングのためのベルヌーイアーム

    ウエハ位置と反りインテリジェントマッピング

    ウエハアライメント用ファイバセンサ

    各種チャックを取り扱うチャック

    ウエハカセットローディング&アンロード

    17 'タッチパネルLCDによる標準工業PC制御

    完全なSSTカバー&アルミニウムプロファイルフレームとドア

    ESD保護用内蔵イオナイザ

    UV & UV膜機能



    AMW200Pro全自動ウエハマウンター仕様 


    ウエハサイズ

    直径:4” , 5” , 6” & 8”

    厚さ:70 ~ 750 um

    ウエハの種類

    シリコン、ガリウムヒ素またその他;双辺、V型欠損ウエハ

    膜の種類

    青膜またはUV膜

    フレーム種類

    6” DISCO or K&S, 8” DISCO or K&S; or 顧客指定

    実装理論

    真空マウントまたはローラ取付

    ウエハ位置精度

    X-Y: +/- 0.5 mm  Θ : +/- 0.5°

    入力&出力

    二重入力のウェーハ・カセット/単一の入力ウェハー・ボックス(オプション)

    二重出力フレームカセット

    顧客指定(サンプル供給)

    ESD 制御

    イオンファン

    ウエハ搬送

    ベルヌーイエンドエフェクタによる水平マルチリンクロボット

    カセットにおけるウエハ位置と反りインテリジェントマッピング

    ウエハアライメント

    ウエハアライメント用ファイバセンサ

    制御装置

    17インチタッチパネル液晶を搭載した産業用パソコンの標準/ Windows   O/S

    空気供給元

    60 PSI CDA , 2.5 CFM

    機械カバー

    SUS 304ステンレス鋼板とESD PMMA

    寸法

    1350 mm (W) × 1200 mm (D) × 1750 mm (H)

    重量

    500kg


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