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AMSEMI AMW300デトメータ付き全自動ウエハマウンター
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    AMW300デトメータ付き全自動ウエハマウンター特長


    完全自動ウエハ/フレームローディング&アンロード

    自動テープ送りと取付

    A自動ウエハ搭載とプリカットテープ取付

    カセットにおける自動ウエハマッピング

    自動BGテープ剥離とユニークなロボットでコレクション

    実装後自動ウェーハの取り外し

    自動テープ・リングは、調節可能なリング・カッターで速くカットします

    自動ライナー巻き戻しは、UVまたは非UVテープを扱うことができます

    ESDテフロンめっき接触ウエハチャックによる標準構成

    据え付け場所のESD取付ローラおよびESDブロワー

    17インチタッチパネルLCDによる工業PCベースの制御

    運転状態監視のためのアラーム付き3色のタワーライト

    ウエハ直径8“~12”との互換性;厚さ75 ~ 775 um 

    8” & 12” との互換性



    AMW300AMW300デトメータ付き全自動ウエハマウンター仕様 


    実装理論

    ESDローラー取付

    デポッピング理論

    ユニークなロボットピーリング

    ウエハサイズ

    直径:8” ~ 12”,厚さ:75 ~ 725 um

    ウエハの種類

    シリコン、ガリウムヒ素またその他, V型欠損ウエハ

    膜の種類

    非UV膜またはUV膜またはプリカット膜

    幅 :300 ~ 420 mm, 長さ:100  m

    厚さ: 0.05 ~ 0.2 mm

    ウエハ位置精度

    X-Y: +/- 0. 2 mm    Θ : +/- 0.5°

    テーピング温度

    室内の温度 ~ 150 °C までに制御可能(任意)

    ウェハフレーム

    8” DISCO or K&S  , 12” DISCO or K&S

    入力&出力

    単一のウェーハカセット入力/シングルフレームカセット出力

    ウエハ搬送

    ベルヌーイエンドエフェクタによる水平マルチリンクロボット

    カセットにおけるウエハ位置インテリジェントマッピング

    アライメント

    ウエハアライメント用ファイバセンサ

    ESD 制御

    ESDローラ/ESDウエハチャック/ESDイオンブロワ

    切断システム

    調整可能なリングカッター

    制御装置

    17インチタッチパネルディスプレイ

    電源供給元

    単相AC 220 V, 25A

    空気供給元

    5.0 Kgf/cm2  CDA , 150 L/min

    機械構造

    完全なアルミニウムプロファイルで作られる

    機械カバー

    SUS304 ステンレス鋼板

    寸法

    1300 mm (W) × 2500 mm (D) × 1750 mm (H) 

    (ロードポートを含む、タワーライト除外)

    重量

    1000 Kg

    出荷重量

    1200 Kg


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