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AMSEMI ATW-12半自動ウェハ減薄前膜貼付機
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    ATW-12半自動ウェハ減薄前膜貼付機特長


    デスクトップ型

    8”&12”ウエハに適用

    操作が簡単である




    ATW-12半自動ウェハ減薄前膜貼付機仕様: 


    ウエハ直径

    8”& 12”ウエハ

    ウエハ厚さ

    200 ~750ミクロン

    Bump厚さ

    ウエハ200~400ミクロン

    凸块 50~200ミクロン

    ウエハ歪み

    ≤5mm

    ウエハの種類

    シリコン、ガリウムヒ素またその他;平辺、V型欠損ウエハ

    膜の種類

    青膜またはUV膜

    幅:240~340 mm

    厚さ:0.05~0.2メートル

    膜貼付原理

    静電気防止ローラー膜

    ローラー温度

    室温~80℃

    膜貼付動作

    自動膜引きと膜貼り

    ウエハ台盤

    二合一テフロン静電気防止コーティング接触式台盤、

    またはシリカゲル台盤温度:室温~100℃

    着脱方式

    ウエハの手動配置と取り出し

    静電気防止制御

    静電気防止テフロンコーティングウエハ台盤/ 

    静電気防止膜ローラー/ 静電気除去イオン発生器

    切断システム

    独特の手動調整リングカッターは異なるウエハ外形に適用でき、

    ヘッドベルトの独立加熱機構には何のエッジもなく、辺の修復も省略できる。

    独特のハンドカッター設計は世界の最も省膜の設計である;

    切断刀温度:最高150℃;

    ウエハ位置

    共通標線/スプリングピンの位置

    制御ユニット

    PLC制御に基づいて5.7インチのタッチスクリーンを搭載している

    駆動ユニット

    サーボモーター駆動

    セキュリティ

    緊急停止ボタンの設定

    電源電圧

    相交電流220 V、10 A

    圧縮空気

    乾燥空気を5 kg清潔、流量1分当たり2.5立方フィート

    機械ハウジング

    白いブローメタルケース

    体積

    680 mm(幅)×900 mm(深さ)×600 mm

    重量

    85 kg


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