ウエハ直径 | 8”& 12”ウエハ |
ウエハ厚さ | 200 ~750ミクロン |
Bump厚さ | ウエハ200～400ミクロン 凸块 50～200ミクロン |
ウエハ歪み | ≤5mm |
ウエハの種類 | シリコン、ガリウムヒ素またその他；平辺、V型欠損ウエハ |
膜の種類 | 青膜またはUV膜 幅：240～340 mm 厚さ：0.05~0.2メートル |
膜貼付原理 | 静電気防止ローラー膜 |
ローラー温度 | 室温～80℃ |
膜貼付動作 | 自動膜引きと膜貼り |
ウエハ台盤 | 二合一テフロン静電気防止コーティング接触式台盤、 またはシリカゲル台盤温度：室温～100℃ |
着脱方式 | ウエハの手動配置と取り出し |
静電気防止制御 | 静電気防止テフロンコーティングウエハ台盤/ 静電気防止膜ローラー/ 静電気除去イオン発生器 |
切断システム | 独特の手動調整リングカッターは異なるウエハ外形に適用でき、 ヘッドベルトの独立加熱機構には何のエッジもなく、辺の修復も省略できる。 独特のハンドカッター設計は世界の最も省膜の設計である； 切断刀温度：最高150℃； |
ウエハ位置 | 共通標線/スプリングピンの位置 |
制御ユニット | PLC制御に基づいて5.7インチのタッチスクリーンを搭載している |
駆動ユニット | サーボモーター駆動 |
セキュリティ | 緊急停止ボタンの設定 |
電源電圧 | 相交電流220 V、10 A |
圧縮空気 | 乾燥空気を5 kg清潔、流量1分当たり2.5立方フィート |
機械ハウジング | 白いブローメタルケース |
体積 | 680 mm（幅）×900 mm（深さ）×600 mm |
重量 | 85 kg |
