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AMSEMI ATW200全自動ウエハテーパー
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    ATW200全自動ウエハテーパー特長


    先進のESDローラーテーピング

    全自動テープ供給&マウント

    真空フォーク付きマルチリンクウエハ搬送ロボットの構成

    ウエハ位置と反りインテリジェントマッピング

    ウエハアライメント用ファイバセンサ

    種々のウエハを処理するためのESD接触ウエハチャックの加熱(任意)

    ウエハカセットのロード&アンロード

    15インチタッチパネルLCDによる標準工業PC制御

    完全なアルミニウムプロフィールフレームでできている

    ESD保護のためのビルトインイオンブロワー

    下部張力制御技術



    ATW200全自動ウエハテーパー仕様 


    ウエハサイズ

    直径:4”, 5”, 6”& 8”

    厚さ:300 ~ 725 um

    ウエハの種類

    シリコン、ガリウムヒ素またその他;片辺、双辺、V型欠損ウエハ

    膜の種類

    青膜またはUV膜

    幅:120 ~ 240 mm

    長さ:100 m

    厚さ:0.03 ~ 0.2 mm

    チャックテーピング温度

    室内の温度 ~100℃までに制御可能(任意)

    切断システム

    多軸精密プロファイルカッター;エッジカッターヒーター、120℃まで

    ウエハ位置精度

    X-Y: +/- 0.2 mm   Θ : +/- 0.5°

    入力&出力

    単一入力ウエハカセット/単一出力ウエハカセット 

    顧客指定(サンプル供給)

    ESD制御

    イオンブロワー

    ウエハ搬送

    真空フォーク移動ウエハを用いた水平多リンクロボット

    カセットにおけるウエハ位置と反りインテリジェントマッピング

    アライメント

    ファイバセンサ非接触アラインメント

    制御装置

    15インチタッチパネル液晶産業用パソコンの標準、windows 7/10 専門 O/S

    電源供給元

    単相 AC 220 V, 16A

    空気供給元

    60 PSI CDA , 2.5 CFM

    変換時間

    <=  15 分

    寸法

    1300 mm (W) ×1500mm(D) ×1750mm(H)

    機械構造

    完全なアルミニウムプロフィールでできている

    重量

    約600 Kg

    (予告なく仕様項目の更新)


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