AMSEMI TELL-jp.png

AMSEMI ATW200pro全自動ウエハテーパー
  • 概括
  • パラメータ
  • 応用範囲
  • 資料
  • 関連製品
  • ブランド
  • ビデオ

    ATW200pro全自動ウエハテーパー特長


    ESDローラテーピング(オプションとしてのローラヒータ)

    全自動テープ供給&インナープレカット

    マルチリンクウエハ搬送ロボット(真空またはベルヌーイアーム)での構成

    ウエハ位置と反りインテリジェントマッピング

    ウエハ事前調整用ファイバセンサ

    プリカットテープアライメント用CCD

    様々なウエハを扱うESDテフロンめっきチャック

    ウエハカセットローディング&アンロード(オプションとしてのウエハボックス)

    17インチタッチパネルLCDによる標準工業PC制御

    ESD保護用内蔵イオナイザ

    テーピングプロセスのための低張力制御技術



    ATW200pro全自動ウエハテーパー仕様 


    ウエハサイズ

    直径:4”, 5”, 6”& 8”

    厚さ:50 ~ 725 um(薄いウエハの能力をアップグレード)

    ウエハの種類

    シリコン、ガリウムヒ素またその他;片辺、双辺、V型欠損ウエハ

    膜の種類

    青膜またはUV膜 または ラミネーション膜  など

    幅: 120 ~ 240 mm, 長さ: 100m, 厚さ: 0.03 ~ 0.2 mm

    チャックテーピング温度

    室内の温度 ~100℃までに制御可能(任意)

    プリカッティングシステム

    多軸精密プロファイルカッター

    ウエハ位置精度

    X-Y: +/- 0.1 mm,  Θ : +/- 0.25°

    入力&出力

    単一入力ウエハカセット/ウエハボックス(任意)

    単一出力ウエハカセット/ウエハボックス(任意)

    顧客指定(サンプル供給)

    ESD 制御

    テフロンめっきウエハチャック/ESDブロワー

    ウエハ搬送

    ベルヌーイまたは真空効果手にしての水平マルチリンクロボット

    カセットにおけるウエハ位置と反りインテリジェントマッピング

    アライメント

    ファイバセンサ非接触アラインメント

    プリカットテープ用整列CCD

    制御装置

    17インチタッチパネル液晶を搭載した産業用パソコン

    Windows 7/10   専門 O/S

    電源供給元

    単相 AC 220 V, 16A

    空気供給元

    60 PSI CDA , 2.5 CFM


Copyright © 1999-2017  AMSEMI All Rights Reserved