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AMSEMI ATW300全自動ウエハテーパー
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    ATW300全自動ウエハテーパー特長


    先進のESDローラーテーピング

    全自動テープ供給&マウント

    マルチリンクSCARAウエハ搬送ロボットで構成

    ウエハ位置インテリジェントマッピング

    ウエハアライメント用のファイバ非接触ビームセンサ

    ESDテフロンめっきチャック

    ウェーハカセット& FOUP / FOSBローディング&アンロード

    自動ウエハエッジプロファイル切断

    17インチタッチパネルLCDによる標準工業PC制御

    完全なSSTカバー&アルミニウムプロファイルフレームとドア

    ESD保護用内蔵イオナイザ

    UV & UVテープ機能

    テーピングプロセスのための低張力制御技術

    二重ロードポート標準の設定



    ATW300全自動ウエハテーパー仕様 


    ウエハサイズ

    直径:8” &  12”

    厚さ:>=  725 um

    ウエハの種類

    シリコン、ガリウムヒ素またその他;片辺、V型欠損ウエハ

    膜の種類

    青膜またはUV膜

    幅:240~340 mm、長さ:100 m;厚さ:0.05~0.2 mm

    チャックテーピング温度

    室内の温度 ~100℃までに制御可能(任意)

    切断システム

    多軸加工用カッター

    カッターブレード温度

    室内の温度 ~ 120 ℃ までに制御可能

    ウエハ位置精度

    X-Y: +/- 0.5 mm,    Θ : +/- 0.5°

    入力&出力

    シングル入力ウエハカセット/ FOUP

    シングル出力ウエハカセット/ FOUP

    EHS

    人間工学 :SEMI S8-95

    安全性

    SEMI S2-2000 / CE スタンダード証明:(オプション)

    MHS

    ウェハカセットロードポート (E15.1)

    FIMS (E62) & BOLTS (E63)

    PGV ドッキングゾーン (E64)

    運動カップリング (E57)

    コミュニケーション

    オプション SECS / GEM

    ESD 制御

    EPID制御テフロンめっきウエハチャック/テープ転写ローラ/ESDブロワ

    ウエハ搬送

    ベルヌーイまたは真空効果ハンドによる

    ウエハ搬送水平多リンクスカラロボット

    カセットにおけるウエハ位置インテリジェントマッピング

    ウエハアライメント

    x−y−θオフセット補償による非接触光センサー


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